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        電子級級磷酸

        廣泛應用于超大規模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業,主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。

        關鍵詞:

        電子磷酸 志誠化工 食品級磷酸

        產品咨詢:

        產品描述

        電子級磷酸

        性狀:

        無色、無臭、粘稠狀液體,溶于水及乙醇。

        用途:

        廣泛應用于超大規模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業,主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。

         

        包裝:

        200L圓桶、IBC桶、ISO國際標準罐式集裝箱。

         

         

        Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade 

        National Standard GB 28159-2011

         

        No.

        Items of Analysis

        Unit

        E1LCD grade

        E2 (IC grade)

        1

        磷酸 H3PO4

        %

        85-87

        85-87

        2

        易氧化物 H3PO3

        %

        ≤0.005

        ≤0.001

        3

        硝酸鹽NO3

        mg/kg

        ≤5

        ≤0.5

        4

        硫酸鹽SO4

        mg/kg

        10

        ≤5

        5

        氯化物Cl

        mg/kg

        ≤1

        ≤0.5

        6

        Al

        µg/kg

        ≤200

        ≤50

        7

        B

        µg/kg

        -----

        ≤50

        8

        Sb

        µg/kg

        ≤3000

        ≤300

        9

        As

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        10

        Ba

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        11

        Cd

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        12

        Ca

        µg/kg

        ≤1000

        ≤50

        13

        Cr

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        14

        Co

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        15

        Cu

        µg/kg

        ≤50

        ≤20

        16

        Ga

        µg/kg

        ≤100

        ≤10

        17

        Au

        µg/kg

        ≤100

        ≤10

        18

        Fe

        µg/kg

        ≤300

        ≤50

        19

        Pb

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        20

        Li

        µg/kg

        ≤100

        ≤10

        21

        Mg

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        22

        Mn

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        23

        Ni

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        24

        K

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        25

        Ag

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        26

        Na

        µg/kg

        ≤500

        ≤50

        27

        Sn

        µg/kg

        ------

        ≤10

        28

        Sr

        µg/kg

        ≤100

        ≤20

        29

        Ti

        µg/kg

        ≤100

        ≤50

        30

        Zn

        µg/kg

        ≤100

        ≤50

        31

        顆粒 Granule

        µm,pcs/ml

        -----

        ------

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